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      半導體制造工序多， 產(chǎn)品廣泛用于光伏太陽能電池、LED.集成電路等行業(yè)，涉及的設備有氧化爐、單晶爐、PVD（物理氣相沉積）、PECVD、MOCVD、光刻機、膠水顯影機、干法蝕刻機、化學機械拋光機、晶圓貼合機、清洗機、離子注入機、減薄機、擴散爐、切割機、研磨機、引線鍵合機和塑封壓機。

      半導體專用冷水機主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成的的制冷循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控裝置，研發(fā)人員在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預測控制技術(shù)和自適應控制技術(shù)，顯著地提高了冷水機的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。

機組設計參數(shù)

溫度調(diào)節(jié)范圍：-30℃-80℃，溫度控制精度：≤±0.5℃，

流量調(diào)節(jié)范圍：0-200L/min，流量控制精度：±0.2L/min，

壓力調(diào)節(jié)范圍：0-500kpa， 壓力控制精度：±2kpa

1. 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠：核心部件選用國際知名品牌，可靠性高、噪音低，24小時連續(xù)運轉(zhuǎn)設計。

2.先進控制技術(shù)：采用微電腦版控制器，實現(xiàn)全自動智能化控制，系統(tǒng)水溫，水流，故障信號報警直接顯示，多種精度可以選擇±0.1℃、±0.5℃等）

3.多重安全防護：超溫保護 、電流保護、水流報警、水位報警、壓力報警、缺項保護、逆相保護、電機過載等。

4.可接受客戶非標制作，儀器尺寸、流量、溫控精度，壓力等，可選配RS485（CAN或以太網(wǎng)）通訊接口并提供通訊協(xié)議

      弘星制冷是一家集制造、研發(fā)、銷售為一體的冷暖系統(tǒng)整體解決方案服務商，公司秉承為客戶提供高性能解決方案。公司引進優(yōu)秀技術(shù)人才，開展研發(fā)制造，機組溫度范圍-80℃-300℃，精度控制范圍可達±0.1℃，流量精度控制在0.5L/min等。產(chǎn)品涵蓋冷熱測試系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、防爆冷水機組、變頻冷水機、大溫差冷水機、雙溫雙控冷水機、復疊式低溫冷凍機、螺桿式冷水機。應用于生物制藥、石油化工、食品加工、新能源、新材料、集成電路、實驗儀器等行業(yè)。目前與多家公司形成了穩(wěn)定的供貨協(xié)議，為諸多行業(yè)TOP10企業(yè)提供完美的解決方案。