半導(dǎo)體制造工序多， 產(chǎn)品廣泛用于光伏太陽(yáng)能電池、LED.集成電路等行業(yè)，涉及的設(shè)備有氧化爐、單晶爐、PVD（物理氣相沉積）、PECVD、MOCVD、光刻機(jī)、膠水顯影機(jī)、干法蝕刻機(jī)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、晶圓貼合機(jī)、清洗機(jī)、離子注入機(jī)、減薄機(jī)、擴(kuò)散爐、切割機(jī)、研磨機(jī)、引線鍵合機(jī)和塑封壓機(jī)。
半導(dǎo)體專(zhuān)用冷水機(jī)主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的的制冷循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控裝置，研發(fā)人員在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，顯著地提高了冷水機(jī)的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。
機(jī)組設(shè)計(jì)參數(shù)
溫度調(diào)節(jié)范圍：-30℃-80℃，溫度控制精度：≤±0.5℃，
流量調(diào)節(jié)范圍：0-200L/min，流量控制精度：±0.2L/min，
壓力調(diào)節(jié)范圍：0-500kpa， 壓力控制精度：±2kpa
1. 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠：核心部件選用國(guó)際知名品牌，可靠性高、噪音低，24小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)。
2.先進(jìn)控制技術(shù)：采用微電腦版控制器，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)智能化控制，系統(tǒng)水溫，水流，故障信號(hào)報(bào)警直接顯示，多種精度可以選擇±0.1℃、±0.5℃等）
3.多重安全防護(hù)：超溫保護(hù) 、電流保護(hù)、水流報(bào)警、水位報(bào)警、壓力報(bào)警、缺項(xiàng)保護(hù)、逆相保護(hù)、電機(jī)過(guò)載等。
4.可接受客戶非標(biāo)制作，儀器尺寸、流量、溫控精度，壓力等，可選配RS485（CAN或以太網(wǎng)）通訊接口并提供通訊協(xié)議
弘星制冷是一家集制造、研發(fā)、銷(xiāo)售為一體的冷暖系統(tǒng)整體解決方案服務(wù)商，公司秉承為客戶提供高性能解決方案。公司引進(jìn)優(yōu)秀技術(shù)人才，開(kāi)展研發(fā)制造，機(jī)組溫度范圍-80℃-300℃，精度控制范圍可達(dá)±0.1℃，流量精度控制在0.5L/min等。產(chǎn)品涵蓋冷熱測(cè)試系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、防爆冷水機(jī)組、變頻冷水機(jī)、大溫差冷水機(jī)、雙溫雙控冷水機(jī)、復(fù)疊式低溫冷凍機(jī)、螺桿式冷水機(jī)。應(yīng)用于生物制藥、石油化工、食品加工、新能源、新材料、集成電路、實(shí)驗(yàn)儀器等行業(yè)。目前與多家公司形成了穩(wěn)定的供貨協(xié)議，為諸多行業(yè)TOP10企業(yè)提供完美的解決方案。
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